Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Антипов, А. Н. - Исследование явлений, протекающих на поверхности кремния при различных технологических процессах ...
Антипов, А. Н. - Исследование явлений, протекающих на поверхности кремния при различных технологических процессах ...
Экз. чит. зала
Диссертация
Автор: Антипов, А. Н.
Исследование явлений, протекающих на поверхности кремния при различных технологических процессах ... : дис. ... канд. технических наук : 05.12.18
Издательство: Моск. ин-т электронного машиностроения, 1981 г.
ISBN отсутствует
Автор: Антипов, А. Н.
Исследование явлений, протекающих на поверхности кремния при различных технологических процессах ... : дис. ... канд. технических наук : 05.12.18
Издательство: Моск. ин-т электронного машиностроения, 1981 г.
ISBN отсутствует
На полку
Диссертация
Дис. А721
Антипов, А. Н.
Исследование явлений, протекающих на поверхности кремния при различных технологических процессах его обработки, методом спектроскопии внутреннего отражения [Книга]: дис ... канд. технических наук : 05.12.18 / А. Н. Антипов. – М.: Моск. ин-т электронного машиностроения, 1981. – 182 с. – Библиогр.: с.122-182.
общий = Физика [53] : строение материи [539] : физика твердого тела. Свойства и структура молекулярных систем [539.2]
Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, чит.зал : MIEM, Reading hall РК Научный Дис. А721
Дис. А721
Антипов, А. Н.
Исследование явлений, протекающих на поверхности кремния при различных технологических процессах его обработки, методом спектроскопии внутреннего отражения [Книга]: дис ... канд. технических наук : 05.12.18 / А. Н. Антипов. – М.: Моск. ин-т электронного машиностроения, 1981. – 182 с. – Библиогр.: с.122-182.
общий = Физика [53] : строение материи [539] : физика твердого тела. Свойства и структура молекулярных систем [539.2]
Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, чит.зал : MIEM, Reading hall РК Научный Дис. А721