Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Боков, Ю. С. - Введение в фотолитографию
Боков, Ю. С. - Введение в фотолитографию
Доступно
1 из 2
1 из 2
Книга
621.3 В24
Боков, Ю. С.
Введение в фотолитографию / Ю. С. Боков, В. С. Корсаков, В. П. Лаврищев, и др.; Под ред. В. П. Лаврищева. – М.: Энергия, 1977. – 400 с.
621.3.049.77
общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : микроэлектроника. Интегральные схемы = microelectronics. Integrated circuit [621.3.049.77]
181460 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, контр.экз. : MIEM, Single copy Научный 621.3 В24
181461 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, науч.аб-т : MIEM, Academic collection lending department Научный 621.3 В24
621.3 В24
Боков, Ю. С.
Введение в фотолитографию / Ю. С. Боков, В. С. Корсаков, В. П. Лаврищев, и др.; Под ред. В. П. Лаврищева. – М.: Энергия, 1977. – 400 с.
621.3.049.77
общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : микроэлектроника. Интегральные схемы = microelectronics. Integrated circuit [621.3.049.77]
181460 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, контр.экз. : MIEM, Single copy Научный 621.3 В24
181461 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, науч.аб-т : MIEM, Academic collection lending department Научный 621.3 В24