Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Балашов, В. Н. - Моделирование и проектирование электронно - оптических систем оборудования для электронной литогр...
Балашов, В. Н. - Моделирование и проектирование электронно - оптических систем оборудования для электронной литогр...
Экз. чит. зала
Диссертация
Автор: Балашов, В. Н.
Моделирование и проектирование электронно - оптических систем оборудования для электронной литогр... : дис. ... д-ра технических наук : 05.27.07
Издательство: МГИЭМ, 1998 г.
ISBN отсутствует
Автор: Балашов, В. Н.
Моделирование и проектирование электронно - оптических систем оборудования для электронной литогр... : дис. ... д-ра технических наук : 05.27.07
Издательство: МГИЭМ, 1998 г.
ISBN отсутствует
Диссертация
Дис. Б202
Балашов, В. Н.
Моделирование и проектирование электронно - оптических систем оборудования для электронной литографии [Книга]: дис ... д-ра технических наук : 05.27.07 / В. Н. Балашов. – М.: МГИЭМ, 1998. – 298 с. - Библиогр.: с.276-297.
общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Рентгенотехника. Ускорители частиц = electronics. Photoelectronics. Vacuum tube. X-ray technology [621.38] : оптоэлектроника = optoelectronics [621.383]
общий = Оптические приборы. Волоконная оптика. Оптические системы = optical apparatus and instruments. Fibre-optic devices. Optic systems [681.7]
общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : микроэлектроника. Интегральные схемы = microelectronics. Integrated circuit [621.3.049.77]
Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, чит.зал : MIEM, Reading hall РК Научный Дис. Б202
Дис. Б202
Балашов, В. Н.
Моделирование и проектирование электронно - оптических систем оборудования для электронной литографии [Книга]: дис ... д-ра технических наук : 05.27.07 / В. Н. Балашов. – М.: МГИЭМ, 1998. – 298 с. - Библиогр.: с.276-297.
общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Рентгенотехника. Ускорители частиц = electronics. Photoelectronics. Vacuum tube. X-ray technology [621.38] : оптоэлектроника = optoelectronics [621.383]
общий = Оптические приборы. Волоконная оптика. Оптические системы = optical apparatus and instruments. Fibre-optic devices. Optic systems [681.7]
общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : микроэлектроника. Интегральные схемы = microelectronics. Integrated circuit [621.3.049.77]
Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, чит.зал : MIEM, Reading hall РК Научный Дис. Б202