Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Галперин, В. А. - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Галперин, В. А. - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Доступно
1 из 3
1 из 3
Книга
Автор: Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов
Серия: Сер. "Нанотехнологии"
Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018 г.
ISBN 978-5-9963-0032-7
Автор: Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов
Серия: Сер. "Нанотехнологии"
Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018 г.
ISBN 978-5-9963-0032-7
Заказать 
На полку
Книга
621.3 Г167
Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учеб. пособие для вузов / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов; Под ред. С. П. Тимошенкова. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. – 283 с. – (Сер. "Нанотехнологии") . - ISBN 978-5-9963-0032-7.
621.3.049.77
620.3
общий = Гриф : учебные пособия : УМО, НМС
общий = Физика [53] : механика [531/534] : механика газов. Аэродинамика. Физика плазмы [533]
общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : микроэлектроника. Интегральные схемы = microelectronics. Integrated circuit [621.3.049.77]
общий = Нанотехнология = nanotechnology [620.3]
206648 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, контр.экз. : MIEM, Single copy Научный 621.3 Г167
206649 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, науч.аб-т : MIEM, Academic collection lending department Научный 621.3 Г167
206650 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, науч.аб-т : MIEM, Academic collection lending department Научный 621.3 Г167
621.3 Г167
Галперин, В. А.
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учеб. пособие для вузов / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов; Под ред. С. П. Тимошенкова. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. – 283 с. – (Сер. "Нанотехнологии") . - ISBN 978-5-9963-0032-7.
621.3.049.77
620.3
общий = Гриф : учебные пособия : УМО, НМС
общий = Физика [53] : механика [531/534] : механика газов. Аэродинамика. Физика плазмы [533]
общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : микроэлектроника. Интегральные схемы = microelectronics. Integrated circuit [621.3.049.77]
общий = Нанотехнология = nanotechnology [620.3]
206648 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, контр.экз. : MIEM, Single copy Научный 621.3 Г167
206649 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, науч.аб-т : MIEM, Academic collection lending department Научный 621.3 Г167
206650 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, науч.аб-т : MIEM, Academic collection lending department Научный 621.3 Г167