Каталог печатных изданий библиотеки НИУ ВШЭ

eng|rus

Пожалуйста, бронируйте контрольные экземпляры только тех книг, которых нет
в наличии ни в читальных залах, ни в открытом доступе, ни на научном абонементе.
По вопросам доступа к электронному каталогу обращайтесь в
отдел информационных систем и электронных ресурсов Библиотеки

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Валиев, К. А. - Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике

Валиев, К. А. - Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике

Доступно
1 из 3

Книга
Автор: Валиев, К. А.
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
Издательство: Радио и связь, 1984 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Книга
621.3 В155

Валиев, К. А.
Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике / К. А. Валиев, А. В. Раков. – М.: Радио и связь, 1984. – 352 с.

621.3.049.77

общий = Общее машиностроение. Ядерная технология. Электротехника. Технология машиностроения = mechanical engineering in general. Nuclear technology. Electrical engineering. Machinery [621] : электротехника. ТОЭ = electrical engineeging. [621.3] : микроэлектроника. Интегральные схемы = microelectronics. Integrated circuit [621.3.049.77]

185802 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, контр.экз. : MIEM, Single copy Научный 621.3 В155
185803 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, науч.аб-т : MIEM, Academic collection lending department Научный 621.3 В155
185804 Библиотека НИУ ВШЭ МИЭМ, науч.аб-т : MIEM, Academic collection lending department Научный 621.3 В155